中新網(wǎng)深圳12月30日電 (記者 許青青)記者30日從深圳技術(shù)大學獲悉，該校半導體微納加工中心與測試平臺已于近日正式落成，填補了深圳市在“光載信息”和“智能傳感”半導體芯片領(lǐng)域的空白，將為粵港澳大灣區(qū)半導體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供關(guān)鍵支撐。

　　據(jù)介紹，該平臺是內(nèi)地高校系統(tǒng)中獨立建成的規(guī)模最大、工藝最完整、運營職業(yè)化的化合物半導體光電芯片公共服務(wù)平臺之一。中心建筑面積2600平方米，其中千級、百級及萬級潔凈區(qū)面積達2100平方米。是深圳市首個同時支撐化合物光電芯片與MEMS傳感芯片上游制造的公共服務(wù)平臺，配置120余臺套先進教學與研發(fā)工藝設(shè)備，構(gòu)建起覆蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積、切磨拋及測試表征等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的全流程工藝體系，可提供“設(shè)計—加工—封裝—測試”一站式技術(shù)解決方案。

　　深圳技術(shù)大學黨委書記陳秋明表示，該校半導體微納加工中心與測試平臺依托學校集成電路與光電芯片學院資源，致力于成為集工藝教學、前沿研發(fā)、中試驗證和產(chǎn)業(yè)服務(wù)于一體的微納加工技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新高地和人才培養(yǎng)基地，將加快破解半導體光電產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)，推動半導體與集成電路領(lǐng)域研究成果的工程化突破、產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用、市場化推廣。

　　深圳技術(shù)大學還分別與清華大學深圳國際研究生院、深圳平湖實驗室、深圳國際量子研究院、南方科技大學深港微電子學院、深圳光峰科技股份有限公司、藍河科技(紹興)有限公司、騰璞顯示技術(shù)(深圳)有限公司、深圳市中科米格實驗室技術(shù)有限公司等科研院校及機構(gòu)簽約，簽約內(nèi)容涵蓋框架協(xié)議、聯(lián)合實驗室共建、員工互聘、校外實習實訓基地共建及項目合作等。(完)